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EB系列射頻探針臺(tái)

簡(jiǎn)要描述:EB系列射頻探針臺(tái)高達(dá)一太赫茲1THz,直接將射頻針頭的導(dǎo)波管與倍頻器的導(dǎo)波管對(duì)接,因?yàn)槭〉纛~外的導(dǎo)波管使得信號(hào)損失降低到小,各家廠牌的倍頻器都可以架設(shè)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):EB-6V mmW/EB-6A mmW
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2021-11-17
  • 訪  問(wèn)  量:1269

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類(lèi)別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子,航天

EB系列射頻探針臺(tái)


奕葉射頻探針臺(tái)-1.png


一、EB系列射頻探針臺(tái)顯微鏡操控規(guī)格



l 在探針臺(tái)右側(cè)有大搖桿,提起90度后,可以使顯微鏡快速傾仰抬起,方便在測(cè)試時(shí)更換物鏡鏡頭

l 顯微鏡后側(cè)有X/Y軸調(diào)節(jié)小搖輪,可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍2"X2",精度1μm

l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕,粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便調(diào)焦,使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm,移動(dòng)精度1μm



二、臺(tái)面規(guī)格


l 探針臺(tái)臺(tái)面平整度:5μm

l 探針臺(tái)左側(cè)有搖杠可以控制臺(tái)面快速上下升降6mm。在探針臺(tái)加裝探針卡點(diǎn)測(cè)wafer時(shí)方便對(duì)die的重選擇

l 探針臺(tái)右上方有轉(zhuǎn)輪搖桿,搖動(dòng)時(shí)可使臺(tái)面線性上下升降,升降范圍25mm,精度1μm。在探針臺(tái)加裝探針卡點(diǎn)測(cè)wafer時(shí)方便對(duì)die的復(fù)位



三、卡盤(pán)(載物臺(tái),即圖中的chuck)規(guī)格


l 6" 卡盤(pán),卡盤(pán)平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,帶真空吸附孔,中心孔徑250μm-1mm(可根據(jù)客戶(hù)需求定制孔徑大小),小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm,能夠吸住尺寸為6"X6"

l 卡盤(pán)可360度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),微調(diào)精度為0.1度,帶角度鎖定旋鈕

l 卡盤(pán)X,Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤(pán)做X-Y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍為6"X6",移動(dòng)精度為1μm,為方便點(diǎn)測(cè)的穩(wěn)定性,帶有鎖住功能。如果點(diǎn)測(cè)       6"wafer的時(shí)候,可以6"wafer的每一點(diǎn)都能夠點(diǎn)測(cè)到


四、性能



l 鍍金真空吸附卡盤(pán): 對(duì)應(yīng)可選4" ,6",8",12"產(chǎn)品

l 大旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)臺(tái),X-Y方向行程:6"-6"

l 卡盤(pán)快速拉出裝置便于放置/拿去樣品

l 線性無(wú)回差調(diào)節(jié)

l 臺(tái)面快速升/降行程:6mm,精調(diào)升/降行程:25mm

l 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"

l 卡盤(pán)平整度: 10um

l 卡盤(pán)旋轉(zhuǎn)角度:0~360°

l Chuck Theta: ±15

l 大旋鈕滑臺(tái)X-Y方向精度: 1um

l 臺(tái)面上/下升降搖桿/旋鈕

l 顯微鏡傾仰裝置


五、附件


l 顯微鏡傾仰裝置

l 鍍金卡盤(pán)

l 射頻測(cè)試探頭/電纜

l 有源探頭

l 低電流/電容測(cè)試

l 高壓測(cè)試

l 激光修復(fù)

l CCD/數(shù)字相機(jī),USB接口

l 探針卡/封裝/PCB板夾具

l 加熱裝置

l 防震桌

l 屏蔽箱




評(píng)估射頻mmW探針臺(tái)注意事項(xiàng):

1.防震桌

來(lái)自于地的振動(dòng)噪聲干擾,當(dāng)探針站在電極上,防止針在電極上刮來(lái)刮去影響到彼此的接觸。 信號(hào)進(jìn)出頻率愈高愈是在意。 客戶(hù)端經(jīng)常出現(xiàn)的問(wèn)題,這個(gè)實(shí)驗(yàn)室以及整棟建筑物在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上就比較脆弱,很容易產(chǎn)生共振,當(dāng)微小的震動(dòng)來(lái)的時(shí)候,隨著樓層越高,震動(dòng)到實(shí)驗(yàn)室的現(xiàn)場(chǎng)位置被放大了更大。 奕葉都會(huì)派工程師到現(xiàn)場(chǎng)量震動(dòng),機(jī)器進(jìn)場(chǎng)前選擇適當(dāng)?shù)牡攸c(diǎn)安裝!

2.探針臺(tái)

穏定的臺(tái)體,硬件機(jī)械架構(gòu)的強(qiáng)度與其重心配置。 其次為載臺(tái)的XY、Z滑臺(tái)及顯微鏡XY功能、精度、穩(wěn)定性及操控性都至關(guān)重要。

3.探針座

有別于直流量測(cè)的探針座,高頻量測(cè)時(shí)探針座本身的重心配置的穩(wěn)定性要高之外,控制探針的機(jī)械調(diào)整精度必需1 micron 以上,下針后滑行距離可細(xì)膩調(diào)整到不同應(yīng)用及材料所需的接觸應(yīng)力。 頻率愈高,間距愈窄,控制探針的每一步的步進(jìn)量也需愈小。 頻率在90GHz以上的架設(shè),在探針座本身的穩(wěn)定及精度之外,要將探針座背另外一個(gè)倍頻器一起規(guī)劃,出現(xiàn)了其他的挑戰(zhàn),如何將大尺寸的倍頻器收納及超小倍頻器在瞬間產(chǎn)生的熱能的消散問(wèn)題,設(shè)計(jì)上是一大考驗(yàn)。

4.探針

探針是元件與儀器信號(hào)之間的直接硬件接口,廠牌的選用也會(huì)影響到量測(cè)結(jié)果的可靠及重復(fù)性,校正數(shù)據(jù)庫(kù)宏,可提供可靠之外,較深及較廣的后續(xù)量測(cè)咨詢(xún)。




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